半导体行业超纯水中钠离子含量限值是多少,如何检测钠离子?
超纯水是半导体制造的"生命线",贯穿晶圆清洗、光刻显影、蚀刻等500+道关键工艺,其纯度直接决定芯片良率与可靠性。作为水中最顽固的阳离子杂质,钠离子(Na⁺)会通过扩散作用穿透氧化层,导致MOS管阈值电压漂移、栅氧层击穿等致命缺陷。某12英寸晶圆厂实测数据表明
超纯水是半导体制造的"生命线",贯穿晶圆清洗、光刻显影、蚀刻等500+道关键工艺,其纯度直接决定芯片良率与可靠性。作为水中最顽固的阳离子杂质,钠离子(Na⁺)会通过扩散作用穿透氧化层,导致MOS管阈值电压漂移、栅氧层击穿等致命缺陷。某12英寸晶圆厂实测数据表明
英国《金融时报》(Financial Times,FT)25 日援引消息人士报道称,美国前总统唐纳德・特朗普在纽约联合国大会期间,与阿拉伯及穆斯林国家领导人举行会晤,并提出一项解决加沙地带冲突的新方案。
特朗普 加沙 国家领导人 巴勒斯坦民族权力机构 pna 2025-09-26 15:33 3